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HCEB系列

電子束蒸發(fā)

大型光學(xué)鍍膜機(jī)

LARGE E-BEAM OPTICAL COATING MACHINE
真空應(yīng)用解決方案提供商
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LARGE ELECTRON BEAM OPTICAL COATING EQUIPMENT 大型電子束蒸發(fā)光學(xué)鍍膜機(jī)

      配備電子槍、穴型、腰型或環(huán)形坩堝,阻抗式蒸發(fā)源;配置光學(xué)膜厚控制儀或石英晶體膜厚控制儀,可實(shí)現(xiàn)成膜速度和鍍膜過(guò)程的自動(dòng)控制;可選射頻RF/考夫曼型/霍爾型離子源。

      該系列的開(kāi)發(fā)是為了滿(mǎn)足面向大規(guī)模生產(chǎn)的市場(chǎng)需求,設(shè)備經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證,高生產(chǎn)率,最低的擁有成本大批量光學(xué)元件成本優(yōu)化生產(chǎn)。可制備AR、UV/IR截止濾光片、AF、硬質(zhì)膜、裝飾膜、ITO膜 、帶通濾光片、HR膜等。

AR 膜(基材玻璃透過(guò)率>91.5%):
■  420-680nm波段,單面平均透過(guò)率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■  雙面平均透過(guò)率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;

AS/AF膜測(cè)試標(biāo)準(zhǔn):
■   初始接觸角范圍為 115±5°;
■   鋼絲絨耐摩擦測(cè)試標(biāo)準(zhǔn):用 0000#鋼絲絨,面積為 10*10mm,行程 40 次/分,負(fù)載1Kg,5000 次往返摩擦后,接觸角大于 100°;
■   橡皮擦測(cè)試標(biāo)準(zhǔn): 直徑 6mm 橡皮擦,行程 25 次/分,負(fù)載1Kg, 2500 次往返摩擦后,接觸角大于 100°;
備注:測(cè)試樣片玻璃需為經(jīng)過(guò)精密拋光過(guò)的觸摸屏蓋板專(zhuān)用玻璃,表面光潔。


優(yōu)勢(shì):

?蒸鍍AR / AF涂層
?生產(chǎn)能力更強(qiáng)
?生產(chǎn)成本更低
?全自動(dòng)化功能以及完整的數(shù)據(jù)記錄功能
?光學(xué)監(jiān)控提高過(guò)程的可重復(fù)性

Product Advantage.

產(chǎn)品特點(diǎn)
HCEB系列大型電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)包括以下關(guān)鍵功能:
  • 高產(chǎn)量

    滿(mǎn)足規(guī)模生產(chǎn)的市場(chǎng)需求

  • 客制化

    滿(mǎn)足客戶(hù)需求的多種元件組合

  • 簡(jiǎn)單

    易于操作和維護(hù)

  • 通用

    高性能、高通用性

  • 自動(dòng)化

    自動(dòng)蒸鍍控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸鍍過(guò)程

  • 遠(yuǎn)程訪問(wèn)

    提供工廠遠(yuǎn)程診斷

規(guī)格
型號(hào) HCEB-2700
腔體尺寸 Φ2700 x H1850
裝載量 5.3 m2
結(jié)構(gòu) 立式前開(kāi)門(mén),SUS304不銹鋼
性能
轉(zhuǎn)速 10~30RPM(可變)
抽速 大氣壓至2.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 1.0×10-4Pa
膜料 TiO2,Ti3O5,H4,ZrO2,ZnS,Al2O3,MgF2,SiO2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn...
主要配置
夾具系統(tǒng) 中心上旋轉(zhuǎn)傘架,自動(dòng)翻轉(zhuǎn),單體或分體
加熱系統(tǒng) 鹵素?zé)?/ 鎧裝加熱器,最高250℃
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 + 低溫泵 / Polycold
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計(jì)
鍍膜系統(tǒng) 電子槍?zhuān)ㄐ?、腰?環(huán)形坩堝,阻抗式蒸發(fā)源,射頻/考夫曼型/霍爾型離子源
充氣系統(tǒng) MFC或APC自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀
膜厚控制儀 晶控或光控
控制系統(tǒng) PC+PLC
應(yīng)用
光學(xué)薄膜應(yīng)用 AR、AS/AF、硬質(zhì)膜、裝飾膜、ITO膜 、HR膜等
適用波長(zhǎng) 380nm~780nm
注:可客制化(數(shù)據(jù)僅供參考)
規(guī)格
型號(hào) HCEB-2350
腔體尺寸 Φ2350 x H1510
裝載量 3.8 m2
結(jié)構(gòu) 立式前開(kāi)門(mén),SUS304不銹鋼
性能
轉(zhuǎn)速 10~30RPM(可變)
抽速 大氣壓至2.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 1.0×10-4Pa
膜料 TiO2,Ti3O5,H4,ZrO2,ZnS,Al2O3,MgF2,SiO2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn...
主要配置
夾具系統(tǒng) 中心上旋轉(zhuǎn)傘架,自動(dòng)翻轉(zhuǎn),單體或分體
加熱系統(tǒng) 鹵素?zé)?/ 鎧裝加熱器,最高250℃
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 + 低溫泵 / Polycold
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計(jì)
鍍膜系統(tǒng) 電子槍?zhuān)ㄐ?、腰?環(huán)形坩堝,阻抗式蒸發(fā)源,射頻/考夫曼型/霍爾型離子源
充氣系統(tǒng) MFC或APC自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀
膜厚控制儀 晶控或光控
控制系統(tǒng) PC+PLC
應(yīng)用
光學(xué)薄膜應(yīng)用 AR、AS/AF、硬質(zhì)膜、裝飾膜、ITO膜 、HR膜等
適用波長(zhǎng) 380nm~780nm
注:可客制化(數(shù)據(jù)僅供參考)
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電話:13316689188

郵箱:office@www.czhfdj.cn

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